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壓力傳感器的種類與工作原理

發布時間:2020-01-09 09:45人氣:

壓力傳感器的應用非常廣泛,壓力傳感器也分很多種,常見的有哪些種類呢?目前市面上常見的有以下幾種壓力傳感器:
應變式壓力傳感器
電阻應變片是壓阻式應變傳感器的主要組成部分之一。將電阻應變片粘貼在彈性元件特定表面上,當力、扭矩、速度、加速度及流量等物理量作用于彈性元件時,會導致元件應力和應變的變化,進而引起電阻應變片電阻的變化。電阻的變化經電路處理后的以電信號的方式輸出,這就是電阻應變片傳感器的工作原理。
電阻應變片應用最多的是金屬電阻應變片和半導體應變片兩種。金屬電阻應變片又有絲狀應變片和金屬箔狀應變片兩種。通常是將應變片通過特殊的粘和劑緊密的粘合在產生力學應變基體上,當基體受力發生應力變化時,電阻應變片也一起產生形變,使應變片的阻值發生改變,從而使加在電阻上的電壓發生變化。這種應變片在受力時產生的阻值變化通常較小,一般這種應變片都組成應變電橋,并通過后續的儀表放大器進行放大,再傳輸給處理電路(通常是 A/D 轉換和 CPU )顯示或執行機構。
滄正應變式壓力傳感器
壓電式壓力傳感器
壓電式壓力傳感器原理基于壓電效應。壓電效應是某些電介質在沿一定方向上受到外力的作用而變形時,其內部會產生極化現象,同時在它的兩個相對表面上出現正負相反的電荷。當外力去掉后,它又會恢復到不帶電的狀態,這種現象稱為正壓電效應。當作用力的方向改變時,電荷的極性也隨之改變。相反,當在電介質的極化方向上施加電場,這些電介質也會發生變形,電場去掉后,電介質的變形隨之消失,這種現象稱為逆壓電效應。
壓電式壓力傳感器的種類和型號繁多,按彈性敏感元件和受力機構的形式可分為膜片式和活塞式兩類。膜片式主要由本體、膜片和壓電元件組成。壓電元件支撐于本體上,由膜片將被測壓力傳遞給壓電元件,再由壓電元件輸出與被測壓力成一定關系的電信號。這種傳感器的特點是體積小、動態特性好、耐高溫等。現代測量技術對傳感器的性能出越來越高的要求。壓電傳感器不能用于靜態測量,因為經過外力作用后的電荷,只有在回路具有無限大的輸入阻抗時才得到保存。實際的情況不是這樣的,所以這決定了壓電傳感器只能夠測量動態的應力。
陶瓷壓力傳感器
陶瓷壓力傳感器基于壓阻效應,抗腐蝕的陶瓷壓力傳感器沒有液體的傳遞,壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面,使膜片產生微小的形變,厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面,連接成一個惠斯通電橋,由于壓敏電阻的壓阻效應,使電橋產生一個與壓力成正比的高度線性、與激勵電壓也成正比的電壓信號,標準的信號根據壓力量程的不同標定為2.0/3.0/3.3mV/V等,可以和應變式傳感器相兼容。陶瓷是一種公認的高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和振動的材料。陶瓷的熱穩定特性及它的厚膜電阻可以使它的工作溫度范圍高達-40 ~135 ℃,而且具有測量的高精度、高穩定性。電氣絕緣程度2kV,輸出信號強,長期穩定性好。
滄正陶瓷壓力傳感器
擴散硅壓力傳感器
擴散硅壓力傳感器工作原理也是基于壓阻效應,利用壓阻效應原理,被測介質的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),使膜片產生與介質壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發生變化,利用電子線路檢測這一變化,并轉換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號。
硅應變電阻的靈敏因子比金屬應變計高50~100倍,故相應的傳感器的靈敏度就很高,一般量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無特殊要求,使用比較方便。
由于傳感器的感受、敏感轉換和檢測三部分由同一個元件實現,沒有中間轉換環節,重復性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大,變形很小,保證了良好的線性。
由于工作單性形變低至微應變數量級,彈性芯片最大位移在亞微米數量級,因而無磨損,無疲勞,無老化,壽命長達1×103壓力循環,性能穩定,可靠性高。
滄正擴散硅壓力傳感器
電容式壓力傳感器
電容式壓力傳感器是利用電容敏感元件將被測壓力轉換成與之成一定關系的電量輸出的壓力傳感器。特點是,低的輸入力和侏儒能量,高動態響應,小的自然效應,環境適應性好。
它一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個電極,當薄膜感受壓力而變形時,薄膜與固定電極之間形成的電容量發生變化,通過測量電路即可輸出與電壓成一定關系的電信號。電容式壓力傳感器屬于極距變化型電容式傳感器,可分為單電容式壓力傳感器和差動電容式壓力傳感器。
電感式壓力傳感器
電感式壓力傳感器是用電感線圈電感量變化來測量壓力的儀表。
常見的有氣隙式和差動變壓器式兩種結構形式。氣隙式的工作原理是被測壓力作用在膜片上使之產生位移,引起差動電感線圈的磁路磁阻發生變化,這時膜片距磁心的氣隙一邊增加,另一邊減少,電感量則一邊減少.另一邊增加,由此構成電感差動變化,通過電感組成的電橋輸出一個與被測壓力相對應的交流電壓。具有體積小、結構簡單等優點,適宜在有振動或沖擊的環境中
差動變壓器式的工作原理是被側壓力作用在彈簧管_L,使之產生與壓力成正比的位移,同時帶動連接在彈簧管末端的鐵心移動,使差動變壓器的兩個對稱的和反向串接的次級繞組失去平衡,輸出一個與被測壓力成正比的電壓.也可以輸出標準電流信號與電動單元組合儀表聯用構成自動控制系統。
藍寶石壓力傳感器
利用應變電阻式工作原理,采用硅-藍寶石作為半導體敏感元件,具有無與倫比的計量特性。因此,利用硅-藍寶石制造的半導體敏感元件,對溫度變化不敏感,即使在高溫條件下,也有著很好的工作特性;藍寶石的抗輻射特性極強;另外,硅-藍寶石半導體敏感元件,無p-n漂移。
藍寶石系由單晶體絕緣體元素組成,不會發生滯后、疲勞和蠕變現象;藍寶石比硅要堅固,硬度更高,不怕形變;藍寶石有著非常好的彈性和絕緣特性(1000 OC以內),因此,利用硅-藍寶石制造的半導體敏感元件,對溫度變化不敏感,即使在高溫條件下,也有著很好的工作特性;藍寶石的抗輻射特性極強;另外,硅-藍寶石半導體敏感元件,無p-n漂移,因此,從根本上簡化了制造工藝,提高了重復性,確保了高成品率。
用硅-藍寶石半導體敏感元件制造的壓力傳感器和變送器,可在最惡劣的工作條件下正常工作,并且可靠性高、精度好、溫度誤差極小、性價比高。表壓壓力傳感器和變送器由雙膜片構成:鈦合金測量膜片和鈦合金接收膜片。印刷有異質外延性應變靈敏電橋電路的藍寶石薄片,被焊接在鈦合金測量膜片上。被測壓力傳送到接收膜片上(接收膜片與測量膜片之間用拉桿堅固的連接在一起)。在壓力的作用下,鈦合金接收膜片產生形變,該形變被硅-藍寶石敏感元件感知后,其電橋輸出會發生變化,變化的幅度與被測壓力成正比。
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