校準(zhǔn)硅壓阻式傳感器壓力傳感器的主要困難在于它們的誤差幅度范圍很寬，采用不同工藝生產(chǎn)的硅壓阻式傳感器具有不同類(lèi)型的誤差和誤差范圍。甚至由同一個(gè)制造商提供的同一型號(hào)傳感器的誤差幅度，兩者之間也會(huì)有輕微的差異。硅壓阻式傳感器的誤差因素包括：滿(mǎn)偏信號(hào)隨溫度變化的強(qiáng)烈非線(xiàn)性(高達(dá)1％oK)；很大的初始失調(diào)(可至滿(mǎn)偏的100％或更高)以及失調(diào)隨溫度的強(qiáng)烈漂移等。在一定限度內(nèi)，這些缺陷可以由電子電路加以補(bǔ)償。
一定溫度下，硅壓阻橋路電阻(Vcc和地之間的等效電阻)能夠在很寬的壓力范圍內(nèi)保持相當(dāng)?shù)暮愣ǎ欢S著溫度的上升，橋路電阻顯著增加，如果電橋由恒流源驅(qū)動(dòng)，橋路電壓(指Vcc和地之間的等效電阻與恒流源輸出電流的乘積)就會(huì)增加。當(dāng)橋路電壓隨著溫度的升高而增大時(shí)，則SPRT靈敏度也隨之升高。另一方面，如果保持橋路電壓恒定，SPRT的壓力靈敏度又會(huì)隨著溫度的升高而降低。因此，SPRT的壓力靈敏度受兩種互相對(duì)立的因素影響：溫度和受溫度影響的橋路電壓。這種橋路電阻或橋路電壓的變化可以彼現(xiàn)代信號(hào)調(diào)理電路IC加以利用，來(lái)校正SPRT靈敏度在溫度范圍內(nèi)的誤差。值得一提的是，此類(lèi)信號(hào)調(diào)理電路IC均可通過(guò)橋路電阻的變化來(lái)校正靈敏度隨溫度的改變。根據(jù)SPRT產(chǎn)生誤差的主要因素的分析，便可有的放矢地進(jìn)行校正與補(bǔ)償。以下將對(duì)目前常用的傳統(tǒng)校正與現(xiàn)代校正及簡(jiǎn)化補(bǔ)償方法作介紹。
它可以補(bǔ)償硅壓阻精度至適當(dāng)水平，并可以對(duì)SPRT失調(diào)、失調(diào)的溫度漂移(OFFSETTC)以及SPRT靈敏度的溫度漂移進(jìn)行調(diào)整。而與SPRT靈敏度溫度漂移相關(guān)的是滿(mǎn)偏榆出(FSO)的溫度漂移，這兩個(gè)參數(shù)(指SPRT靈敏度溫度漂移與滿(mǎn)偏榆出的溫度漂移)的溫度特性互成正比，電路中的調(diào)零電阻Rjz用來(lái)補(bǔ)償傳感器在室溫下的失調(diào)電壓，溫度敏感電阻Rts和Rtz(或R'tz)用于校正溫度誤差。前面提到，橋路電阻隨著溫度上升而增加，使傳感器兩端的電壓Vo+Vo-()也增加，這個(gè)增加的電壓△Vo+Vo-會(huì)使傳感器的靈敏度上升，也就是說(shuō)，在給定壓力下它將輸出更高的電壓。
然而，如果保持傳感器兩端電壓恒定，傳感器的靈敏度就會(huì)隨著溫度的上升而降低(或稱(chēng)負(fù)向靈敏度系數(shù))，但因?yàn)闃蚵冯娮枋軠囟扔绊懚黾訒r(shí)，它所引起的靈敏度正向變化系數(shù)是大于負(fù)向靈敏度系數(shù)，所以，滿(mǎn)偏輸出(FSO)趨向于隨著溫度增加而增加。電阻器Rts可以在溫度上升時(shí)旁路掉一部分橋路電流，從而抵消上述效應(yīng)。類(lèi)似地，Rtz或R'tz可對(duì)失調(diào)的漂移進(jìn)行校正。電路中選擇Rts還是R'tz取決于失調(diào)的溫度漂移方向。
這種傳統(tǒng)校正方法的優(yōu)點(diǎn)是程式簡(jiǎn)單、廉價(jià)，但主要問(wèn)題是各個(gè)補(bǔ)償元件之間互相影響,使校準(zhǔn)非常困難，并限制了所能達(dá)到的精度，該校正技術(shù)也不便于采用電子調(diào)整。更多傳感器相關(guān)技術(shù)文章請(qǐng)?jiān)L問(wèn)：http://www.fanshiwhiteglue.com
